自动单晶圆化学减薄设备厂家

自动单晶圆化学减薄设备厂家

全自动单晶圆化学减薄设备，用于硅、砷化镓、磷化铟等材料的衬底化学减薄工艺，可以有效去除在机械减薄过程中产生的应力层，也可以用于不适用机械减薄的工艺。