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自动单晶圆化学减薄设备批发
全自动单晶圆化学减薄设备,用于硅、砷化镓、磷化铟等材料的衬底化学减薄工艺,可以有效去除在机械减薄过程中产生的应力层,也可以用于不适用机械减薄的工艺。