*电子科技集团公司*四十五*
多晶硅硅料清洗机
该设备主要用于20-150mm不规则多晶硅块状料的清洗。采用机械手自动抓取PVDF花篮,依次完成腐蚀、清洗、超声漂洗、切水、烘干等工艺流程,达到清洗后的硅块表面清洁光滑、表面无水珠等工艺要求。