*电子科技集团公司*四十五*
多晶硅磁环清洗机
该设备主要用于多晶硅生产中的配套磁环的清洗。采用机械手自动抓取不锈钢花篮,依次完成碱洗、清洗、超声漂洗、切水、烘干等工艺流程,达到清洗后的硅块表面清洁光滑、无氧化物、无硅渣、表面无水珠等工艺要求。